EUV時代全面加速 ASML裝置出貨超100臺

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圖源:路透

集微網訊息(文/思坦),據業內透露,截至第二季度,ASML EUV裝置出貨總量達到102臺,隨著需求量的提高和客戶群的擴大,預計2年內累計供應量將增加2倍以上,標誌著EUV時代正式拉開帷幕。

據ETNews報道,過去四個季度(2020年第三季度-2021年第二季度),ASML EUV裝置出貨總計40臺,較之前四個季度(2019年第三季度-2020年第二季度)增長了66%。ASML今年的出貨目標是40臺左右,下半年將供應25臺左右。

ASML擴大EUV裝置供應響應了半導體制造業實現超微電路層的需求。儘管每臺裝置的價格達到1.71億美元,但由於其卓越的工藝成本和省時效果,可以抵消裝置採購的成本。業內人士指出,通過EUV可以降低裝置成本和工藝成本,因此,在微加工領域引進EUV裝置的企業越來越多。

根據ASML的說法,5-7nm邏輯半導體(以每月45,000顆晶圓為基準)每個EUV層需要一臺EUV裝置,16nm及以下節點DRAM(以每月100,000顆晶圓為基準)每個EUV層則需要1.5-2臺裝置。三星電子計劃,到今年下半年為止,將14nm DDR5 DRAM的EUV應用層數從1層增加到5層,SK海力士也計劃增加EUV應用層數,因此,預計EUV裝置的需求將進一步增加。

除了EUV層的增加,EUV裝置的客戶群也在逐漸擴大。繼2018年三星電子首次引進7nm製程的EUV裝置後,臺積電和SK海力士也加入了EUV競爭。美國的美光和英特爾也在推進EUV裝置的引進,預計市場規模將進一步擴大。

業界預測,EUV時代將全面加速發展。因此,ASML計劃通過增加裝置供應來滿足需求。ASML執行長Peter Wennink在第二季度財報會議上表示:“我們計劃明年將EUV裝置的產量增加到55臺,到2023年將達到60臺。”兩年後,市場上將有240多臺EUV裝置投入使用,超過了目前積累的供應量。

但據觀察,臺積電已確保了目前供應的半數EUV裝置。臺積電擁有約50臺EUV裝置。考慮到EUV裝置的目前由ASML獨家供應,三星電子、SK海力士等半導體企業很難在短時間內確保有足夠的裝置。(校對/Jouvet)